什么是光刻機(jī) 光刻機(jī)（Mask Aligner），又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等，是制造微機(jī)電、光電、二極體大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備。 其分為兩種，一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時(shí)模板緊貼晶圓；另一種是利用短波長(zhǎng)激光和類(lèi)似投影機(jī)原理的步進(jìn)式光刻機(jī)（stepper）或掃描式光刻機(jī)（scanner），獲得比模板更小的曝光圖樣。 生產(chǎn)光刻機(jī)上市公司 光刻機(jī)概念股一覽如下： 1、大族激光(002008) 大族激光(002008)在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司生產(chǎn)的接近式光刻機(jī)已投入市場(chǎng)，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動(dòng)用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場(chǎng)需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計(jì)劃。 2、勝利精密(002426) 勝利精密(002426)2018年1月10日晚間披露非公開(kāi)發(fā)行股票預(yù)案，發(fā)行股票數(shù)量不超過(guò)發(fā)行前公司總股本的20%，即不超過(guò)6.88億股，且募資總額不超過(guò)20億元，發(fā)行對(duì)象不超過(guò)10名。募集資金擬用于智能制造生產(chǎn)研發(fā)基地建設(shè)項(xiàng)目、光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。 3、芯源微(688037) 作為與光刻機(jī)配合進(jìn)行作業(yè)的關(guān)鍵處理設(shè)備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機(jī)成功打破國(guó)外廠商壟斷并填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，作為國(guó)內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代；通過(guò)多年的技術(shù)研發(fā)、實(shí)踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國(guó)家02重大專(zhuān)項(xiàng)，公司成功突破了應(yīng)用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設(shè)備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗(yàn)證。 4、賽微電子(300456) 賽微電子(300456)在互動(dòng)平臺(tái)表示，截至2022年6月底，由于仍處于新線運(yùn)行初期的產(chǎn)能爬坡階段，北京FAB3產(chǎn)能利用率水平較低；產(chǎn)品方面，硅麥克風(fēng)、電子煙開(kāi)關(guān)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；BAW濾波器、加速度計(jì)、氣體、振鏡、微流控、壓力、微揚(yáng)聲器、硅光子、光刻機(jī)透鏡部件等MEMS器件分別處于工藝開(kāi)發(fā)、驗(yàn)證、試產(chǎn)等不同階段，北京FAB3正積極推動(dòng)相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)入量產(chǎn)階段，但后續(xù)具體進(jìn)展客觀上存在不確定性。 5、華亞智能（003043） 華亞智能在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司具備為光刻機(jī)提供精密金屬結(jié)構(gòu)件的加工技術(shù)能力。光刻機(jī)相比其他前端半導(dǎo)體設(shè)備，對(duì)金屬零部件需求占比相對(duì)較低。公司除了提供精密部件外，已開(kāi)展了半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的閥門(mén)、流量計(jì)等部件維修業(yè)務(wù)、通用領(lǐng)域的設(shè)備集成裝配等業(yè)務(wù)。 6、長(zhǎng)光華芯(688048) 長(zhǎng)光華芯(688048)6月14日在互動(dòng)平臺(tái)表示，公司布局的藍(lán)光芯片可應(yīng)用于激光直寫(xiě)光刻機(jī)領(lǐng)域。 7、蘇大維格(300331) 蘇大維格在互動(dòng)平臺(tái)表示，在大類(lèi)上，光刻機(jī)主要有兩種類(lèi)型。第一類(lèi)是掩摸光刻機(jī)，如ASLM的EUV設(shè)備，好比“復(fù)印機(jī)”，把掩摸上的圖形投射到硅片上，可用于各類(lèi)芯片的批量生產(chǎn)，這類(lèi)光刻機(jī)技術(shù)工藝和材料難度極高；第二類(lèi)是無(wú)掩摸光刻機(jī)，也稱(chēng)直寫(xiě)光刻機(jī)，包括激光直寫(xiě)光刻機(jī)和電子束光刻機(jī)等，用于直接將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)變成相關(guān)圖形，好比“打印機(jī)”，可用于芯片/液晶掩摸、光模具及其他微結(jié)構(gòu)的制備。公司長(zhǎng)期從事光刻機(jī)的研制，光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)了從自用到銷(xiāo)售給國(guó)內(nèi)外科研院所，再到銷(xiāo)售給相關(guān)企業(yè)的發(fā)展路徑。目前，公司對(duì)外銷(xiāo)售的光刻機(jī)主要為激光直寫(xiě)光刻機(jī)，其中在科研教育領(lǐng)域具有一定的知名度和市場(chǎng)占有率，在其他行業(yè)和領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)的銷(xiāo)售金額相對(duì)較小，部分應(yīng)用領(lǐng)域離國(guó)際先進(jìn)水平具有一定差距，需要持續(xù)的研發(fā)投入；納米壓印光刻領(lǐng)域，公司設(shè)備主要為自用，對(duì)外銷(xiāo)售金額與直寫(xiě)光刻機(jī)相比較小；此外，公司也開(kāi)發(fā)了投影掃描的光刻設(shè)備，擬應(yīng)用于光伏電鍍銅圖形化領(lǐng)域，目前尚未實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售。 8、海立股份(600619) 9月20日晚間發(fā)布股票交易風(fēng)險(xiǎn)提示公告稱(chēng)，公司主營(yíng)業(yè)務(wù)為從事制冷轉(zhuǎn)子式壓縮機(jī)、制冷電機(jī)及鑄件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，以及從事汽車(chē)熱管理系統(tǒng)及關(guān)鍵部件產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榧矣每照{(diào)、汽車(chē)等。公司控股子公司海立特冷為一家致力于工業(yè)設(shè)備冷卻系統(tǒng)的研發(fā)及生產(chǎn)企業(yè)，其收入主要來(lái)源于冶金行業(yè)高溫空調(diào)等領(lǐng)域。海立特冷有銷(xiāo)售光刻機(jī)用冷卻系統(tǒng)，該業(yè)務(wù)規(guī)模較小，近三年年銷(xiāo)售額占海立股份年?duì)I業(yè)收入的比例均低于0.003%。 |
