七星電子(002371):國內首臺等離子去膠機在七星電子面世
近日,七星電子(002371)半導體裝備家族再添新丁,公司全資子公司北京北方微電子發布了新產品IDE300設備,應用于先進封裝倒裝的等離子去膠工藝.作為國內首臺自主研發的等離子去膠設備,首批產品已成功交付客戶. 此次北方微電子推出的IDE300設備,是在原有12吋刻蝕設備的技術基礎上,通過逐步擴展工藝應用而開發的新產品.該機臺可兼容8吋和12吋晶圓, 腔室數量可以靈活配置,不但能滿足用戶對產線高效,低損,高均勻性的工藝要求,也最大限度的滿足了其靈活的產品及產能配置要求. 作為先進封裝Bumping工藝的必備設備,等離子去膠設備豐富了公司在12吋先進集成電路制造設備領域的產品線. |
