七星電子(002371):國(guó)內(nèi)首臺(tái)等離子去膠機(jī)在七星電子面世
近日,七星電子(002371)半導(dǎo)體裝備家族再添新丁,公司全資子公司北京北方微電子發(fā)布了新產(chǎn)品IDE300設(shè)備,應(yīng)用于先進(jìn)封裝倒裝的等離子去膠工藝.作為國(guó)內(nèi)首臺(tái)自主研發(fā)的等離子去膠設(shè)備,首批產(chǎn)品已成功交付客戶. 此次北方微電子推出的IDE300設(shè)備,是在原有12吋刻蝕設(shè)備的技術(shù)基礎(chǔ)上,通過逐步擴(kuò)展工藝應(yīng)用而開發(fā)的新產(chǎn)品.該機(jī)臺(tái)可兼容8吋和12吋晶圓, 腔室數(shù)量可以靈活配置,不但能滿足用戶對(duì)產(chǎn)線高效,低損,高均勻性的工藝要求,也最大限度的滿足了其靈活的產(chǎn)品及產(chǎn)能配置要求. 作為先進(jìn)封裝Bumping工藝的必備設(shè)備,等離子去膠設(shè)備豐富了公司在12吋先進(jìn)集成電路制造設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)品線. |
